由于晶圆生产附加值极高，因此半导体检测设备在半导体产业中的地位日益凸显。2020年，我国半导体检测设备市场规模达到176亿元。随着我国半导体产业的不断发展，我国半导体检测设备市场规模有望接近400亿元。
半导体检测从设计验证到最终测试都不可或缺，贯穿整个半导体制造过程。半导体检测包括设计验证、工艺控制检测、晶圆测试(CP测试)以及成品测试(FT测试)。
按照电子系统故障检测中的“十倍法则”，如果一个芯片中的故障没有在芯片测试时发现，则在电路板(PCB)级别发现故障的成本为芯片级别的十倍。因此，半导体检测设备在半导体产业中扮演着重要角色，且其地位日益凸显。
